微電子行業過濾解決方案

  過濾減少了空氣中的分子污染風險

  需要嚴格控制微粒和空氣分子污染(AMC)，以實現高產量、低廢品率的半導體制造。

  AMC的來源包括：

  化學廢氣

  來自其他行業和工藝的廢氣

  汽車尾氣

  季節性因素

  AMC造成的故障通常分為：

  機械效應包括冷卻氣流阻塞、移動或光學部件干擾以及表面變形。

  化學影響包括含硫和含氯鹽的灰塵造成電氣部件。

  電效應包括阻抗變化和電子電路導體橋接。